據韓國業界消息,韓國半導體巨頭三星電子、SK海力士正利用氖氣回收技術,以實現可持續發展,并降低成本、減輕供應風險。
SK海力士近日宣布與韓國氣體供應商TEMC合作,在氖氣回收方面取得突破。三星電子也緊隨其后,計劃在2025年將氖氣回收技術整合到其制造工藝當中。
氖氣用于半導體光刻中激發激光,通過利用裝置收集廢氣,SK海力士與TEMC實現了72.7%的氖氣回收率,并計劃將效率進一步提升至77%。
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