半導(dǎo)體｜三星電子在生產(chǎn)線上試用韓國企業(yè)加工的氟化氫

　　9月5日消息，據(jù)國外媒體報(bào)道，三星電子開始在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上試用韓國企業(yè)加工的氟化氫。

　　知情人士稱，自8月下旬起，三星電子開始在一條生產(chǎn)線上使用韓國企業(yè)供應(yīng)的氟化氫。氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。

　　此次投入量產(chǎn)線的是從中國進(jìn)口、由韓國企業(yè)加工的氟化氫。

　　在高純度的氟化氫市場，日本廠商大約占據(jù)8至9成份額。三星電子對(duì)于是否全面采用日本造以外的氟化氫仍持謹(jǐn)慎態(tài)度。

　　今年7月，就有外媒報(bào)道三星電子在半導(dǎo)體工廠試驗(yàn)新材料的生產(chǎn)線上，開始投入日本以外廠商的氟化氫進(jìn)行試驗(yàn)，這些產(chǎn)品被認(rèn)為來自中國大陸、中國臺(tái)灣和韓國廠商。

　　上月，外媒還報(bào)道，三星電子正在從總部位于比利時(shí)的公司采購用于制造半導(dǎo)體芯片的化學(xué)材料，以替代日本廠商。外媒未披露公司名稱，但有分析認(rèn)為，該公司應(yīng)該是日本化學(xué)企業(yè)JSR和比利時(shí)研究機(jī)構(gòu)IMEC2016年設(shè)立的合資公司EUV Resist。